产品描述
PK1H100-030U系列X向压电扫描台是采用压电陶瓷驱动的一维并联压电纳米定位扫描台,压电扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链并联导向机构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感。
压电扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电扫描台具有很好的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性。
压电扫描台内部采用并联式结构设计,结构紧凑,所有促动器作用在同一个移动台面上,可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。具有更轻的质量,更低的惯量和更高的动态性。中空式设计,且中央通孔较大,可更好的适用于显微及扫描系统中。
产品特性
—X位移:30μm(闭环)
—中孔尺寸:50mmx50mm
—并联直驱结构设计
—超快响应时间、超高动态应用
选配功能
—可定制转接装置、可定制中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选配XY轴运动
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微纳米操纵
结构原理 叠堆形式 典型应用
PK1H100-030U系列技术参数
1年
是
有
使用说明培训
1年1次
产品质量问题更换产品,人为原因除外。
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