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能量范围： 10 eV 至 1 keV
光束电流： 1 nA 至 100 nA
光斑尺寸： 1 mm 至 5 mm
工作距离： 10 mm 至 200 mm
安装： 2.75″CF 或可拆卸
功能/选项：可聚焦、变焦镜头、恒定光斑超过能量范围、偏转、光栅、脉冲
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