滑轨式单温区三供气CVD系统
报价 ¥5万 - 10万
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管式炉
国产
1200℃
1℃
6KW
60
电阻丝加热
60*1200
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
性
能 | 控温范围 | 室温-1200℃ |
工作温度 | ≤1100℃ | |
加热区 | 三温加热区:600mm | |
控温精度 | ＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃ | |
恒温波动 | ±1℃（测试点为1000℃） | |
温度均衡 | ±3℃（测试点为1000℃） | |
升温速度 | 最快升温速度≤30℃/min,推荐1000度以下≤10℃/min | |
降温速度 | 700℃以上≤10℃/min | |
炉表温度 | 炉体表面温度小于室温+10（测量点为1000℃） |
真空系统 | 真空泵 | 1.选配我司机械泵型号：TVP-2，可达5*10-2pa |
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2.可选配我司高真空系统（机械泵+分子泵组合）型号：GZK-16-600，可达1.33*10-4pa |
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法兰 | 304不锈钢高真空法兰 | ||
压力表 | 指针式：-0.1至0.15mpa
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可选配日本SMC品牌数显压力计 |
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流量计 | 浮子流量计 |
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| 气路通道 | 3路 |
气路流量控制 | 质子流量控制器（七星流量计） | |
控制精度 | ±1.5%F.S | |
重复精度 | ±0.2%F.S | |
流量范围 | 1-500 SCCM | |
机械压力表 | 一块机械压力表在面板，和混气灌连接 量程：-0.1～0.15 Mpa |
1年
否
有
1人次培训服务
3月1次
免费维修服务
72小时上门维修
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