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技术参数：
高精密激光位移传感器可在很广的反射率范围内测量表面的位置和角度方向。此探针具有优良的测量精确度(+/-10 arc-sec)，高的测量速度(>20Hz)，和大的工作范围(5 deg)。 此新型的自动准直设计提高了20dB的信噪比。此探针非常适合确定弯曲、悬浮和HGA的状态，可很容易地与现有的测量系统接口。它的用途可延伸到任何需要精密、快速角度测量的应用中。
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