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美国进口ARC疝气灯
Advanced Radiation Corporation的深紫外光(DUV)短弧灯常用于短波长高强度紫外光刻，其设计、制造和性能优越。
深紫外线辐射是由汞-氙等离子体产生的。在光源制造过程中，必须仔细控制等离子体成分的精确浓度和比例，以获得输出辐射转换的大输入功率。这里所描述的八种DUV灯代表了美国DUV曝光设备和系统的主要制造商三年多的研究和开发成果。
这些灯适用于几种DUV光刻配方。聚甲基丙烯酸甲酯在210 ~ 260nm范围内敏感;200 - 330nm;AZ2400系列，范围240 - 310nm;而ODVR系列在200到315 nm的范围内都很敏感。
产品型号：
DUV-350
DUV-500
DUV-1000
DUV-2000
DUV-350-30118
DUV-500-30036
DUV-500-30055
DUV-500-30056
1年
是
无
首次
视情况而定
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