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广泛使用的eLINE Plus系统是大学和研究中心寻求通过单一多功能电子束光刻(EBL)系统访问纳米制造应用宽带的最佳系统。
eLINE Plus的先进光刻基础设施支持超高分辨率电子束光刻和大面积纳米加工。此外，eLINE Plus的多功能性结合了电子束光刻，纳米工程，超高分辨率和大面积SEM成像的世界，包括用于计量和过程控制的专用功能。
eLINE Plus提供以下智能构建基块和概念:
• 先进的30 kV TFE电子光柱技术
• 创新独特的无针迹书写策略
• 晶圆级自动计量和过程控制的专用功能
• 激光干涉仪平台
• 多探测器概念
• 多端口真空室
• 开放和可升级的平台概念
• Raith NanoSuite：全面集成所有模块的全面软件界面
售后服务
365天
1年
安装调试现场免费培训
eLINE Plus 多功能电子束光刻系统信息由锐时科技(北京)有限公司为您提供，如您想了解更多关于eLINE Plus 多功能电子束光刻系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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