透射电镜气体光热原位系统

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品牌

CHIPNOVA

型号

CNT-BOH

产地

中国大陆福建

应用领域

暂无

荣誉勋章

厦门超新芯科技有限公司

营业执照已认证

银牌会员
第5年
生产商

核心参数

仪器分类：原位气体

产地类别：国产

创新点

1、芯片视窗口的氮化硅膜采用高端镀膜设备，氮化硅膜具有超高强度、高致密、耐腐蚀特性，结构设计科学合理，不会被电子束击穿或破裂。 2、独特多级复合加热微电路芯片设计，控制加热过程热扩散，极大抑制了升温过程热漂移，并实现最高1200 ℃高温原位观测及高分辨成像。 3、可兼容质谱分析仪，具有多重专利保护的芯片特殊设计，保证了在实时动态观察纳米反应过程中，还可以对微量的反应产物进化学分析。

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产品详情

TEM气体光热.png

产品简介

通过MEMS芯片和光纤引入的光源在原位样品台内构建光、热复合多场自动控制及反馈测量系统，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在气氛环境下随光场、热场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

‍‍我们的优势

气氛环境高分辨率

1．MEMS加工工艺，芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10nm。

2．芯片封装采用键合内封以及环氧树脂外封双保险方式，使芯片间的夹层最薄仅约100~200nm，超薄夹层大幅减少对电子束的干扰，可清晰观察样品的原子排列情况，气相环境可达到皮米级分辨率。

高安全性

1．采用纳流控专利技术，通过压电微控系统进行流体微分控制，实现纳升级微量流体输送，控制精度为5nL/s，每次气体推送过程中，原位纳流控系统及样品杆中冗余的气体量仅有微升级别，有效保证电镜安全。

2．采用高分子膜面接触密封技术，相比于o圈密封，增大了密封接触面积，有效减小渗漏风险。

3．采用超高温镀膜技术，芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。‍‍

优异的热学性能

1．高精密红外测温校正，微米级高分辨热场测量及校准，确保温度的准确性。

2．超高频控温方式，排除导线和接触电阻的影响，测量温度和电学参数更精确。

3．采用高稳定性贵金属加热丝（非陶瓷材料），既是热导材料又是热敏材料，其电阻与温度有良好的正相关关系，加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀，稳定状态下温度波动≤±0.01℃。

4．采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式，高频反馈控制消除误差，控温精度±0.01 ℃。

独特多级复合加热MEMS芯片设计，控制加热过程热扩散，极大抑制升温过程的热漂移，确保实验的高效观察。

‍‍优异的光学性能

‍‍1．一体式激光光源，集成紫外-可见-红外不同波段并输出特定波长激光，光信号强（最大强度不低于150 mW），可快速连续调节光源强度，响应时间短（毫秒级）。

2．特殊结构设计，超低光损耗，能量稳定均匀。

智能化软件和自动化设备

1．人机分离，远程控制气体条件，全程自动记录实验细节数据，便于总结与回顾。

2．自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等，同时可手动控制目标温度及时间，在程序升温过程中发现需要变温及恒温，可即时调整实验方案，提升实验效率。

3．内置绝对温标校准程序，每块芯片每次控温都能根据电阻值变化，重新进行曲线拟合和校正，确保测量温度精确性，保证高温实验的重现性及可靠性。

4．全流程配备精密自动化设备，协助人工操作，提高实验效率。

技术参数

类别	项目	参数
基本参数	杆体材质	高强度钛合金
	电极数	2
	视窗膜厚	20nm,可升级10nm
	气体夹层	100~2000nm（可自行组装调整厚度）
	分辨率	原子晶格分辨
	适用电镜	Thermo Fisher/FEI, JEOL, Hitachi
	适用极靴	ST, XT, T, BioT, HRP, HTP, CRP，FHP,WGP
	(HR)TEM/STEM	支持