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聚光科技TGA-321高精度痕量气体分析仪

报价 面议

品牌

灵析光电

型号

TGA-321

产地

中国大陆浙江

应用领域

暂无
  • ±1%
  • ±100ppt
  • 0-10ppm

产品简介

高精度痕量气体分析仪(TGA-321)是一款专为半导体行业空气分子污染分析(AMC)测量氨气(NH3)而设计的专业仪器,采用光腔衰荡光谱技术(CRDS),具有超高的灵敏度,其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准,非常适合连续测量。

分析仪内部管路都进行了特殊涂层,可以有效的减小氨气(NH3)分子在管道壁上的吸附,加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计,能够进一步提升测量速度。

光腔衰荡光谱(CRDS)与离子迁移谱(IMS)和离子色谱传统技术相比,具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势,该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性,是半导体行业AMC连续监测的理想选择。

产品特点

1ppt级别的灵敏度、精度以及准确度

2)免标定,低漂移

3)响应时间快

4)连续监测

5)无耗材成本

应用领域

半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测

售后服务

150天

1年

安装调试现场免费培训

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