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- ±1%
- ±100ppt
- 0-10ppm
产品简介
高精度痕量气体分析仪（TGA-321）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氨气(NH3)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氨气(NH3)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
产品特点
（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间快
（4）连续监测
（5）无耗材成本
应用领域
半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测
售后服务
150天
1年
安装调试现场免费培训
聚光科技TGA-321高精度痕量气体分析仪信息由聚光科技（杭州）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于聚光科技TGA-321高精度痕量气体分析仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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