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本装置为高真空蒸镀设备，因此可对应搭载JA Wollam公司制造的橢偏仪而开发设计的蒸镀机。真空蒸镀过程中，配设橢偏仪以取得相关物性物理资讯。（以下的规格是记载除氧偏仪以外的高真空蒸镀机规格）
本蒸发镀膜装置搭载的是JA Wollam公司的椭偏仪，真空腔大小：280x410x290mm，蒸发源：2个，最大基板尺寸：80x80mm
Reference:
D.Yokoyama and C.Adachi: J.Appl.Phys. 107,123512(2010)
D.Yokoyama, K.Nakayama, T.Otani, and J.Kido: Adv.Mater. 24,6368(2012)
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