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· DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。
· RIE模式。
· 均匀性高的电极构造。
· 操作简单的触摸屏控制器。
【用途】① CSP、BGA、COB基板的等离子清洗；② 去除有机膜和金属氧化膜；③ 印刷电路基板的干式清洗；④ 界面活性处理；⑤LED封装
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