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布鲁克Bruker隧穿磁比率测量仪SmartProber-P1
——用于企业研发和故障分析中 300mm 晶圆应用的电动系统
·高垂直面
磁场
·可配置
设计和选项
·全晶圆覆盖
高达300毫米
·0.1-100 kΩμm2
RA 范围
这种类型的 SmartProber 有多种配置可供选择。如果需要高垂直场，但只需要测量小样品，则可以用更便宜的手动载物台代替自动晶圆载物台。
SP-P1 – 6kOe 磁体，300mm 旋转晶圆台
配置选项：
C：附加场强为 2kOe 的面内磁体模块
Y：200mm XY 晶圆台
M：用于小样品的手动晶圆台
L：10kOe 磁体
售后服务
1年
否
无
现场操作培训
1年1次
免费更换部件，玻璃制品和耗材除外
24~48小时到达现场进行维修
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