音圈电机模组运动台/可堆叠式双轴中空/精密运动系统dataray M-Squared M2测量系统
报价 ¥1万 - 5万
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一, Z030 音圈电机模组运动台
Z030 音圈电机模组运动台
Z030 音圈电机模组运动台,Z030 音圈电机模组运动台特点
音圈电机设计提供更高动态表现
多个可调节配重选项
高刚性，交叉滚柱导轨
导向精度高，精准定位
技术参数
| 型号 | Z030 |
行程 | 30mm |
运动分辨率 *1 | 20nm |
装载质量 *3 | 1-4.4kg |
最大加速度 *2 | 1g |
最大速度 *2 | 100mm/s |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
直线度 | 2μm |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。
*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。
*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
尺寸图
二,Z010 音圈电机模组 运动台
Z010运动台
Z010 音圈电机模组 运动台,Z010 音圈电机模组 运动台特点
音圈电机设计提供更高动态表现
多个可调节配重选项
高刚性，交叉滚柱导轨
导向精度高，精准定位
技术参数
| 型号 | Z010 |
行程 | 10mm |
运动分辨率 *1 | 20nm |
装载质量 *3 | 1-4.4kg |
最大加速度 *2 | 1g |
最大速度 *2 | 100mm/s |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
直线度 | 2μm |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计，可实现不同的运动分辨率。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计，可实现不同的速度和加速度。
*3 装载质量范围根据配重弹簧选择。
*4 欢迎与工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
型号示例
Z010-AA-CB10-C01
系列 | 行程 | 光栅尺类型 | 编码器输出 | 电缆输出 |
Z | 010: 10 | AA: Sin/Cos | CBxx: 参考平衡弹簧选择指南 | C01: 1m Cable |
三, XYT450 精密运动系统
XYT450 精密运动系统
XYT450 精密运动系统,XYT450 精密运动系统产品特点
直线电机驱动，速度 1m/s，最大加速度 2g
高刚性滚柱导轨，10kg 承载
高精度光栅尺反馈，亚微米级分辨率
全封闭防尘设计（无尘拖链）
| 型号 | XYT450M | ||
| 轴 | X | Y | T |
| 行程 | 450mm | 450mm | 360 |
| 负载1 | 10kg | ||
| 定位精度 | 3um | 3um | |
| 重复定位精度(3σ) | 2um | 2um | ±3arcsec |
| 运动分辨率2 | 100nm | 100nm | 0.0005deg |
| 最大速度3 | 1000mm/s | 1000mm/s | |
| 最大加速度3 | 2g | 1g | |
| 水平方向直线度 | 3um | 3um | 径跳10um |
| 竖直方向直线度 | 3um | 3um | 轴跳10um |
| XY正交 | 10arcsec | ||
| 平台质量 | 约1000kg | ||
*1 欢迎与厂家工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
*2 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率。
*3 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度。
*XYT450 精密运动系统可定制 Z 轴、基座等
四,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台
XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台
XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台,XC050BS 可堆叠式 X / Z 运动台| 型号 | XC050BS |
| 行程 | 50mm |
| 运动分辨率 1 | 0.2um |
| 重量 3 | 6.5kg |
| 最大加速度 2 | 0.1g |
| 最大速度 2 | 50mm/s |
| 精度典型值（保证值) | ±0.5(±1.5)um |
| 重复定位精度(3σ)典型值（保证值) | ±0.3(±1.0) um |
| 水平方向直线度典型值（保证值) | ±0.5(±1)um |
| 垂直方向直线度典型值（保证值） | ±0.5(±1.5) um |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与工程师团队交流具体参数要求，优化高精密运动平台设计。
五,MC025 可堆叠式运动台
MC025 可堆叠式运动台
MC025 可堆叠式运动台,MC025 可堆叠式运动台| 型号 | MC025 |
| 行程 | 25mm |
| 运动分辨率 1 | 50nm |
| 重量 | 600g |
| 最大加速度 2 | 0.5g |
| 最大速度 2 | 200mm/s |
| 精度典型值（保证值） | ±0.1（±0.25)um |
| 重证复定位精度(3o)典型值（保证值) | ±0.1（±0.2)um |
| 水平方向直线度典型值（保值） | ±0.1（土0.4)um |
| 垂直方向直线度典型值（保证值) | ±0.15(土0.4) um |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
六,IXY100CA 双轴中空运动平台
IXY100CA双轴中空运动平台
IXY100CA 双轴中空运动平台,IXY100CA 双轴中空运动平台 
技术参数
型号 | IXY100CA |
行程 | 100mm |
精度 | 1.0μm |
重复定位精度(3σ) | 0.5μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g |
水平方向直线度 | 2μm |
垂直方向直线度 | 2μm |
偏航角 | 15μrad |
俯仰角 | 50μrad |
装载质量 *3 | 10kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
DataRay基于模块化的系统为用户提供了灵活性很强的M2 测量系统。支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头可选择50或 200毫米长平移台。
dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列,dataray M-Squared M2测量系统 M2DU系列为什么关心 M2
它是激光器或激光系统的交付质量保证或验收标准。
您需要了解为什么实际“聚焦”的激光光斑直径比计算预测的要大。
您需要测量 M2，和/或有人给您一份 ISO 11146 标准。
因为 M2 是通过良好光学系统传播的激光束的不变属性。 因此，M2 可用于描述该光学系统中任意点的光束。 （*光学系统既不会扭曲也不会缩短光束。）
M2 或光束质量因子是一个无量纲参数，用于表征实际激光束的缺陷程度。 M2 的值越低，光束可以越紧密地聚焦到一个小点上。 良好的 TEM00 光束的 M2 = 1。
没有任何激光束是“wan美的”。 激光腔、激光介质和/或输出/辅助光学器件的局限性意味着大多数光束不是教科书中描述的衍射限制、高斯分布、纯TEM00 模式。 复杂光束包含多种增加M2的因素。 即使是“理想的”的实验室氦氖激光器的M2大约1.05 到1.2，而不是“wan美”TEM00 光束的1.0。
简单的 M2 可以定义为： 实际光束的发散度与具有相同腰部直径的理论衍射极限光束的发散度之比。
M2 = (Θ/θ) 其中 Θ是实际光束的实测远场全角发散角，θ是“wan美”TEM00 高斯光束的理论远场发散角，其束腰直径与被测光束。
DataRay 提供成像相机和狭缝扫描系统来测量M2、发散度、光束轮廓、光束位置、瑞利范围等。
ƒ BeamR'2 和 WinCamD 轮廓相机结合线性平台移动，通过束腰位置以执行符合 ISO 11146 的测量。
ƒ BeamMap2 通过多平面扫描系统提供实时 M2。
移动平台上符合 ISO 11146 标准的单平面测量系统
ISO 11146 标准要求测量光束腰部的多个平面 (≥5) 和远场中的多个平面 (≥5) 的二次矩光束直径。
在大多数情况下，这需要单个平面光束分析仪通过一个Z平台沿传播轴移动。
DataRay 基于模块化的系统为用户提供了 灵活性很强的M2 测量。 电子表格支持选择最佳 M2 测量配置：基于相机或基于狭缝扫描的系统、镜头选择50 或 200 毫米长平移台。
WinCamD™ 相机提供最灵活的成像系统，可以在脉冲和连续波束上测量非常广泛的 M2。 波长从 190 nm 到 1350 nm，传感器尺寸为 11.3 x 11.3 mm，像素尺寸小至 3.2 µm。
Beam’R2™ 是一种高分辨率 (0.1 µm) 单平面扫描系统，具有从 190 nm 到 2.5 µm 的多种波长选项以及用于测量 M2、发散度、瑞利范围等的配置选项。
M2DU-50 和 -200平台
分辨率 < 1 µm
DataRay 软件控制
符合 RoHS 和 CE 标准
实时 M2 (Real-time M2)
BeamMap2™ 是一种高分辨率 (0.1 µm) 多 z 平面 XYZθθ 测量系统，可实时测量 M2、校准、发散和束腰位置和尺寸。 BeamMap2 有两个版本，涵盖狭缝平面分离 d 选项为 50、100、250、500 或 750 µm 的聚焦光束。 ColliMate™ 版本涵盖接近准直的光束，平面间距为 5mm。
BeamMap2 操作原理
带有多个 XY 狭缝对的磁盘 ['puck'] 围绕平行于 z 轴的轴旋转，这符合 ISO 11146 标准的正交线性扫描要求。
狭缝在聚焦区域中以 z 轴方向的多个平面中精确校准。
狭缝放置在与局部径向方向的 ±45° 处。 有效狭缝宽度比实际狭缝宽度大 2 倍。
M2测量系统
相机系统 | WinCamD-LCM4 | WinCamD-UCD series | Beam’R2™ | BeamMap2™ | ||
- |
| |||||
190-355 | √ | √ | ||||
355-1100 | √ | √ | ||||
355-1350 | √ | √ | ||||
扫描系统
| 单平面 | 模型 | 多平面 实时 M2 | 型号1 | ||
190-800 | √ | BR2-Si | √ | BMS2-Si-XXX | ||
800-1800 | √ | BR2-IGA | √ | BMS2-IGA-XXX | ||
800-2500 | √ | BR2-IGA2.5 | √ | BMS2-IGA-2.5-XXX | ||
1 不同的狭缝/平面配置可能有多个型号。 请咨询筱晓上海光子销售工程师确认选择范围：
订购信息 镜头选择
模型 | 描述 |
LNZ-UV-Focal Length 190-380 nm | 可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 |
LNZ-VIS-Focal Length 400-800 nm | 可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 |
LNZ-NIR- Focal Length 650-1050 nm | 可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 |
LNZ-TEL- Focal Length 1050-1620 nm 1 | 可用焦距 - 50,75,100,150, 200,250,500,750,1000 mm，直径 25 或 50 mm，带安装座和垫片 |
相机/扫描系统
模型 | 描述 | |
相机 | S-WCD-LCM4 | 完整的全局 CMOS 光束分析相机和配件 USB 3.0，1” 传感器，5.5 µm 像素 |
S-WCD-UCD23 | 完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、2/3” 传感器、6.5 µm 像素 | |
S-WCD-UCD15 | 完整的全局 CCD 系列光束分析相机和配件 USB 2.1、1/1.8” 传感器、4.4 µm 像素 | |
S-WCD-UCD12 | 完整的全局 CCD 光束分析相机和附件 USB 2.1、1/2” 传感器、4.65 µm 像素 | |
S-WCD-UHR | 完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、5.2 µm 像素 | |
S-WCD-XHR | 完整的 CMOS 光束分析相机和配件 USB 2.1、1/2” 传感器、3.2 µm 像素 | |
平台 | M2DU-WCD-50 | M2 线性平台，2.5 µm 步长，50 mm 行程，用于相机 |
M2DU-WCD-200 | M2 线性平台，2.5 µm 步长，200 mm 相机行程 | |
狭缝扫描系统 | S-BR2- | Beam’R2 扫描系统 - 选择 Si、IGA 或 IGA2300 |
S-BMS2 | 完整的 BeamMap2 系统 - 选择 Si、IGA 或 Ext IGA2300 无需平台 | |
Stage | M2DU-BR2 | 用于 BR2 扫描系统的线性平台 |
配件
IC | 仪表盒，包含客户自定义配置的泡沫单元 |
ND 衰减片 | 全系列 ND 衰减片，包括我们新的 MagND 衰减片，可快速更换OD数 0.5、1.0、2.0、3.0、4.0、5.0 |
八,IXY 系列双轴高精密运动平台
优秀的高精密运动台设计: IXY系列高精密运动平台优化了高刚性和高动态性能设计，满足最高动态性能要求的各种应用，是适用于光学、生化、电子制造等领域的理想的双轴高精密运动系统。
优秀的精度和稳定的性能: IXY系列运动平台具有高精度和高运动性能等特点。瑞荧公司基于高精度机械和运动控制相结合的先进整体系统设计，生产出高精度和高性能的单轴、双轴、多轴高精密运动平台。
IXY 系列双轴高精密运动平台,IXY 系列双轴高精密运动平台产品特点
结构精巧的双轴高精密运动平台
双电机可实现高产量
高刚性，良好的兼容性
导向精度高，精zhun定位
产品应用
二维激光加工
激光直写
光学测量
自动显微镜
技术参数
IXY100 | IXY200 | |
行程 | 100mm | 200mm |
精度 | -P: 1.0μm -C: 1.5μm | -P: 1.5μm -C: 2.0μm |
重复定位精度(3σ) | -P: 0.3μm -C: 0.6μm | -P: 0.5μm -C: 0.8μm |
运动分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s | 300mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g | 0.5g |
水平方向直线度 | 1.5μm | 3μm |
垂直方向直线度 | 2μm | 4μm |
偏航角 | 15μrad | 30μrad |
俯仰角 | 50μrad | 100μrad |
装载质量 *3 | 10kg | 20kg |
*1 针对不同的控制器、驱动器、环境振动和结构的系统设计可实现不同的运动分辨率，欢迎垂询。
*2 针对不同承载重量、控制器、驱动器的系统设计可实现不同的速度和加速度，欢迎垂询。
*3 欢迎与瑞荧公司工程师团队交流具体装载质量等参数要求，优化高精密运动平台设计。
订购信息
型号示例：
IXY100/IXY200 – PAA – CMS
型号说明:
系列 | 行程 | 光栅尺类型 | 编码器输出 | 电缆输出 |
IXY | 100: 100X100 | -P: Invar Based Scale | AA: Sin/Cos | -CMS: With CMS Box |
200: 200X200 | -C: Gold Tape Scale | DS: 100nm A/B/Z | -C01: 1m Cable | |
DC: Customize | -C03: 3m Cable |
控制系统：
1、根据精密运动平台参数和应用要求，提供不同的控制系统方案。
2、精密运动台端口和电机参数兼容常见运动控制卡及驱动器。
1年
是
有
我司实验室可进行培训
1年内
免费更换零件 调试等
约定时间内进行维修调试
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