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占地面积小（38.1 厘米；15 英寸宽）台式等离子 ALD
Inchfab 紧凑型高效远程 300 瓦 ICP 源
集成匹配网络
可容纳直径为 6 英寸的样品，带有可选的可定制卡盘。
带有 40 – 400°C 加热样品架的暖壁铝制腔室
3 种有机金属前体可以加热到 185C，另外一种可以在标准条件下加热。
多达 4 个氧化剂/还原剂源，每个都带有超快 MFC（2 个标准）
具有超快 MFC 和集成惰性气体吹扫的高温兼容快速脉冲 ALD 阀静态处理模式可实现高曝光
售后服务
1年
否
无
1次线上培训
无
因产品质量问题免费保修（各种消耗品除外），仪器提供全面维护，使之处于正常工作状态
产品质保期内本公司提供36小时内的维修服务响应（除节假日外），以最快的速度派遣
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