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欢迎来到 HEX 系列
⾼度模块化的 PVD 系统
独特的开放式架构，为薄膜沉积研究⼈员提
供⽆与伦⽐的⽤户控制、定制和升级能⼒。
HEX 系列薄 膜沉 积 系统可 为 您的研究和 实施应⽤ 提供多种沉
积选项。 从基本系统开始，该装置可以升级到拥有不同配置
源的仪 器。 这些升级是模块化的，安装简单，提供了⼀种经
济⾼效的解 决⽅案，同时减少了系统停机时间。 ⽆论您的研
究⽅向是什么， H EX 都在您身边。
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