CombiNEG 150-1000/2000 吸气剂复合型离子泵
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Agilent CombiNEG 150-1000 和 150-2000 吸气剂复合型离子泵在 150 L/s VacIon 泵中集成了大容量
D1000 或 D2000
非蒸散型吸气剂泵芯。三极离子泵或二极离子泵可为氩气和其他残留惰性气体提供较高抽速，而吸气剂泵可为可吸收气体提供较高抽速，因此具有同时处理大量惰性气体、氢气和其他可吸收气体的独特优势。内部防护罩可最大程度延长
NEG 的使用寿命。
通用而紧凑的 CombiNEG 150-100/2000 吸气剂复合型离子泵适合要求较高的应用，此类应用中需要在超高和极高真空状态下达到超高抽速。
特性：
三极离子泵或二极离子泵抽气单元可快速抽除惰性气体，而吸气剂泵可快速抽除活性气体，二者结合可达到较高的组合抽速，缩短达到超高真空/极高真空状态所需的时间
烧结吸气剂泵的设计紧凑，可提供比质量较差的压结末吸气剂泵更出色的解决方案，并消除粉末进入系统的风险
配备 ConFlat 6² 英寸非旋转型入口法兰以及用于吸气剂泵的额外 ConFlat 6² 英寸侧孔
可以选择不同方向的真空穿导件，实现更高灵活性
无活动部件，确保在高灵敏度应用中无振动运行
低漏电流可提供稳定的真空压力读数
低磁场可大幅减少系统干扰
在 >400 °C 的条件下进行真空处理，并在真空下夹止，确保安装前的清洁度和真空密封性
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是
有
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