TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台

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仪器对比

品牌

TMC

型号

STACIS 4

产地

美洲美国

应用领域

共1个

青岛森泉光电有限公司

营业执照已认证

金牌会员
第7年
一般经销商

核心参数

产地类别：进口

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产品详情

TMC STACIS 4主动隔振系统光学平台

概述

STACIS®4是最xj的主动隔振系统。它装有惯性振动传感器，配合精准的控制算法与先j的压电作动器。STACIS 4可实时侦测地面振动，再凭借压电作动器的收缩或膨胀即刻消除地面振动。全新的STACIS 4建立在我们成熟的STACIS技术基础上，该技术被全球十大半导体制造商中的九家所使用。

起初STACIS是为半导体工厂的精密光刻机，计量仪和检测设备而设计，如今是嘈杂环境中z敏感仪器的行业标准隔振解决方案，包括但不限于故障分析，纳米技术研究，纳米制造，结构生物学和材料研究等应用。

STACIS 4包括最新改进的，低噪声的数字控制器，DC-2020带有双核处理器。这种新的控制系统为使用者提供了一个易用的图形用户界面(GUI)。

STACIS 4建立在前几代的成功架构上，增加了先*的控制算法和新的专*技术。以前无法实现对建筑物地面所有频率的振动消除，但特别是10Hz以下的振动，对高分辨率成像和计量来说是最敏感的。当与FloorSense™专*技术相结合时，STACIS 4在2Hz时可减少60 dB的建筑物地面振动，在1Hz时可减少27dB。

STACIS 4的优点：

STACIS 4相比于气浮支腿更加坚固可靠，且不存在气浮隔振系统离不开气源的局限性。它无气浮支撑，并且与主动的气浮系统不同。STACIS 4可以放置在具有内部主动空气隔离系统的设备下面，且两个隔振系统相互兼容。
独特的串联设计和专有的压电技术所产生0.2 Hz至150 Hz的宽带无与*比的隔离，在2Hz时可减少99.9%的振动。
比STACIS III更好的振动控制，与行业标解决方案相比，STACIS 4将2 Hz的振动控制提高了60 dB以上。
稳定的串联设计允许使得您安装后即可，无需再次安装调试，不像并行式设计本质上是不稳定的，需要频繁调整以保持峰值性能。此外，STACIS 4允许两级振动控制设计，可以在STACIS III系统之上结合被动或主动的平行平台。随着对仪器的振动分辨率的要求越来越高，两级设计正变得越来越普遍。
STACIS 4的性能相当于在稳定的地面上减少5个VC曲线的振动。这种性能使用户能够灵活地在不理想的振动环境中安装仪器，从而在设施布局和设计方面具有更大的适配性。

性能

在VC-C (500μin/s, 12.5μm/s RMS)的模拟振动下测试4500磅(2045千克)有效载荷。

性能规格

主动减振自由度	6
主动减振频段	0.2 Hz - 150 Hz
被动固有频率	被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz
有效主动谐振频率	0.35Hz
在1 Hz的减振	85% - 96%
在2 Hz的减振	96-99.9%
稳定时间（典型）	0.2 秒
内部噪音	＜0.05nm RMS
单个隔振器的工作负载范围	低负载：400-1100 lb（182-500 kg）中负载：900-2100 lb（410-955 kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045 kg）
刚度	40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)（1000 lb / 454 kg 重量，以中负载的隔振器为例）
磁场强度	＜0.02μg 宽频 RMS

隔离器尺寸、环境和使用要求

环境与安全	通过CE和RoHS认证，设计符合NRTL安全认证标准
主动隔振单元	压电元件由高压放大器驱动，垂直致动器支撑隔离的有效载荷
被动隔振单元	单一各向同性硬挂载弹性体（不需要压缩空气供应）
振动传感器	检波器式惯性传感器测量地面振动，并向控制系统发送与振动运动速度成正比的信号
主动反馈控制回路	在弹簧体支撑的隔离表面下方，对地面振动进行测量、处理和衰减
隔振器尺寸（宽x深x高）	11.75 × 12.5 × 10.8 in. 300 × 320 × 275 mm
隔振器重量	75lb （34 kg）
操作温度	50°- 90°F 10°- 32°C
储存温度	-40°- 130°F -40°- 55°C
湿度	华氏68度（20℃）最大湿度为80%，最大露点：18℃
系统电源要求	100, 120, 230, 240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W CE认证
每个系统的隔振器数量	最少3个
选项	层压式不锈钢平台，框架，增高支架模块，调平装置，防地震模块，卡扣式装配等

DC-2020 控制器规格

尺寸（宽×深×高）	19 × 8.5 × 1.75 in. 483 × 216 × 45 mm
重量	6.3 lb（2.9 kg）
处理器	150/75 MHz双核
采样率	10 kHz
模拟输出	16频道
模拟输入	16频道
状态指示灯	单个LED灯
前面板端口	1个串行USB 2.0 1个串行Micro-USB 1个Ethernet RJ-45 2个BNC
后面板端口	1个串行USB 2.0 1个Ethernet RJ-45 1个RS-232 DB-9系列，用于 STACIS 2100 隔振器
用户界面	前面板液晶显示器终端程序上的字符菜单适用于Microsoft Windows的扩展GUI 嵌入式Ethernet GUI

STACIS 4界面

STACIS4主动压电式解决方案可以通过直观的基于网页的用户界面(Web GUI)，从电脑端的网页浏览器*进行控制 - 不需要额外的软件。

通过Web GUI，用户可以查看状态、管理操作和设置、输入诊断指令。

网页用户界面增强版

TMC为高级用户提供了一个增强版的网页用户界面，称为Web GUI Plus。它包括额外的进阶诊断功能，以及一个内置的示波器，可以监测每个轴向振动的输入和输出。

STACIS系列产品参数对比

型号	STACIS III	STACIS IIIc	STACIS 4
产品			新增地面感应模块，该模块包含直接测量地面振动的传感器，从而在0.5至20Hz范围内产生更多的振动衰减。
主动减振自由度	6	6	6
主动减振频段	0.6 Hz - 150 Hz	0.6 Hz - 150 Hz	0.2 Hz - 150 Hz
被动固有频率	被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz	被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz	被动弹性体：18 Hz 主动谐振：0.5Hz
有效主动谐振频率	0.5Hz	0.5Hz	0.35Hz
在1 Hz的减振	40% - 70%	40% - 70%	85% - 96%
在2 Hz的减振	≥90%	≥90%	96-99.9%
10 lb（4.5 kg）分段输入后的稳定时间（10:1 减少）	0.3s	0.3s	0.2s
内部噪音	＜0.1nm RMS	＜0.1nm RMS	＜0.05nm RMS
性能
单个隔振器的工作负载范围	低负载：400-1100 lb（182-500kg）中负载：900-2100 lb（410-955kg）高负载：1900-4500 lb（864-2045kg）
刚度（1000 lb / 454kg重量，中负载的隔振器）	40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)
距离隔振器4英寸（102mm）处的磁场释出	＜0.02μg 宽频 RMS
地面位移要求	<480 μin. (12 μm) 低于 10 Hz	<480 μin. (12 μm) 低于10 Hz	-

从表格中可以明显看出STACIS 4对比其他型号有了显著的突破，在主动减振自由度、主动减振频段、有效主动谐振频率、减振效率、稳定时间有了明显的提升。并且STACIS 4新增地面感应模块，可以更好的隔离振动。