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化学开封机-Elite Etch
RKD SYSTEMS是专注于失效分析样品制备和开封的一家美国公司，已成立超过20年。
其核心的产品包括化学开封机(Elite Etch)和晶背减薄机(UltraPreplll Model2500)
化学开封机EliteEtch规格参数
190 x 320 x 305 mm | 设计更精巧，占地面积更小，1米2的通风柜即可。 | |
温度范围 | 发烟硫酸: 20 -250°C /发烟硝酸: 20 - 90C混酸: 20 - 100c/ 混酸(专利): 10 -100C ( 选购) | 如果客户铜线小于0.8MIL以下时，RKD ETCH Decap可升级为ETCH CU，拥有USA专利的低温冷却系统，混酸最低可达10C(选项)。 |
抽酸流量 | 1-6 ml / minute | RKD ETCH 流量范围大，速度更快。 |
蚀刻头组件 | 固定式碳化硅(保固2年) | RKD ETCH 保固2年。 |
N2气体支持 | 2.0 lpm (安全盖子+泵)60-70psi | RKD ETCH更节省N2气体。采用自动高低压气体转换系统和安全盖内部安全气压补充。不会有CHECK COVER报警。 |
安全 | 1、自动显示错误信息。 2、EMO紧急停止按扭。 3、漏酸侦测在设备内部和瓶子BOX里 4、采用光纤感应盖子的密合度(不是耗材) 5、所有管路一体化设计，双层保护套，并且酸瓶盒配有盖子 | EMO紧急停止按扭漏酸光纤侦测在设备内部和瓶子BOX里.管路双层保护套，酸瓶盒配有盖子，只有Sesame 707拥有，更安全设计。 |
废酸瓶 | 3个 | RKD ETCH新设计的退酸冷却系统，可将废酸退入一个瓶子，从而减少了一个退酸阀件的耗材和保养。 |
固定样品方式 | 盖子盖下以后，自动从上到下，直接固定样品 | 固定样品时，样品不会向前少量滑动。定位比较准确。 |
密封圈 | 圆型(不是耗材) | 密封圈是圆型设计，密度高，无须更换 |
操作方式 | 可在通风柜外手持式操作 (更安全) | 操作和机台是分体式的。较不易被酸侵蚀。 |
保修期 | 整机保固一年/蚀刻头保修2年/微量泵保修5年 | 保修期更长。 |
自动酸清洗选项 | 0-20秒(可选择硫酸，硝酸，混酸清洗或不清洗） | 可混酸清洗是RKD ETCH 的一个特别设计。可用在铜线的应用。 |
安全证明 | CE 、SEMI S3-93 、SEMI S2000 、ROHS | RKD ETCH 是更符合世界安全标准。 |
开封垫圈 | 1套 | 可共用 |
蚀刻方式 | 脉冲式和互惠式 | 只有RKD ETCH的独特设计，在操作脉冲式，互惠式或自动酸洗时，可以做相应的参数调整。采用新型泵，速度快30% |
化学开封机EliteEtch样品图片
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 华科智源 | 2023-04-19 |
| 合肥工业大学 | 2022-12-05 |
| 科美迅 | 2022-06-16 |
| 金汤侠检测 | 2021-11-29 |
| 威灵电机 | 2022-12-01 |
150天
1年
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