仪器对比
关注
工作原理
离子迁移谱（IMS）是一种基于均匀电场中离子-分子相互作用的分析技术。该技术的主要优点是：结构紧凑、灵敏度高（ppb-ppt级）、响应速度快（毫秒范围）、常压操作和分离异构体的能力。传统的IMS仪器主要由电离区、反应区和漂移管三部分组成。
特点优势
l 晶圆厂AMC监控
l 环境空气ppb级别检测
l TA、HCl、HF、NH3、VOC
l 非放射性等离子体电离源
l 高灵敏度
l 与猎户座3100结合，可以监控45个端口
l 实时图形软件
离子迁移谱技术具有灵敏度高（ppb范围）、响应速度快（毫秒范围）、结构紧凑、可在大气压下操作以及能分离异构体等优点。在这篇简短的报告中，我们展示了使用IMS检测氯化氢（HCl）和氟化氢（HF）的灵敏度和快速响应。
HCl和HF是摩尔质量为36.46 g/mol（HCl）和20 g/mol（HF）的小分子。盐酸和氢氟酸是医药、高分子、石油化工等工业中的重要化合物。这两种化学物质在半导体工业中也很重要。在许多半导体应用中，需要在低ppb水平下监测HCl和HF的存在。
1年
是
有
技术人员上门培训
半年1次
免费维修，更换零件（不是人为损坏）
24小时内技术电话回复，3天内上门维修
相关产品
-
热导式气体分析仪
-
尘量分析仪
-
粗、细颗粒物双道采样器
-
颗粒物采样器
-
粉尘采样器
-
降水/降尘自动采样监测仪
-
气体采样器/大气采样器
-
空气检测仪(CO、SO2、HCL、NOX)
-
烟尘采样器、烟气采样器
-
汽车尾气分析仪
-
烟气监测(CEMS)/烟气分析仪
-
VOC检测仪/TVOC检测仪
-
PM2.5采样器
-
TSP采样器
-
PM10采样器
-
其它气体检测
-
甲醛检测仪/甲醛分析仪
-
CO2分析仪、CO分析仪
-
粉尘测定仪/粉尘仪
-
气溶胶检测仪/系统
-
氨气分析仪/氨分析仪
-
空气微生物采样器
-
臭氧分析仪（O3）
-
气体稀释仪
-
粒子计数器
-
灰霾监测系统
-
PM2.5/PM10/PM1/TSP大气颗粒物监测仪
-
氮氧化物分析仪（NOX）
-
烟气汞连续监测系统（Hg-CEMS系统）
-
二噁英采样仪/二噁英采样器
