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岛津ICP采用的晶体管固态高频生器，是目前商品化ICP光谱仪中，体积较小、重量较轻的生器。雾化效率高，达到65%。所以，载气可以用工氩气（99.95%），而无需使用高价的高纯氩气（99.999%）。ICPE-9000是全全谱直读型ICP，采用二维交叉色散光谱，100万像素CCD检测器，实现速检测。独特的小炬管设计，更可以节省氩气40%。
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