溅射离子泵
无油泵
进口
H2 110-520l/s; CO 45-210l/s; N2 20-100l/s; Ar2 0.1-0.3l/s
≤1E-11mbar
Length 100mm/135mm
0.65~0.89 KG
GAMMA推出了具有体积小、重量轻、灵活且抽速强劲的离子泵和NEG泵的复合泵 HyTan,满足您对超高真空的需求!
该系列复合泵具有强劲的抽氢气和惰性气体能力,特别适用于各种超高真空≤1E-11mbar下的应用。
产品优势
该系列复合泵采用离子泵和NEG的抽气原理,无振动、耐高温、耐辐射、更稳定,无需电源也可正常抽空。
超高真空用复合泵
离子泵和NEG复合,可以获得<=1E-11mbar极限真空
轻便
重量:0.65-0.89kg
抽速精悍
离子泵和NEG完全浸入真空腔内,对氢气抽速高达520L/S
模块化设计
灵活拆卸,可单独升级离子泵或NEG,无需整套更换
提供空间利用率
几乎不占系统的外部安装空间
多种选择
该产品系列有48钟不同型号,您可以根据您的应用,从一系列NEG模块、离子泵模块和馈通件中进行选择。
1年
是
有
根据客户实际需求提供完善产品培训
我司定期安排设备巡检给出保养建议
非产品质量问题,设备故障,我司负责全部维修费用
在收到客户设备故障报告后,24小时内给出解决方案
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