Gamma离子泵&NEG复合泵 HyTan

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品牌

埃地沃兹

型号

HyTan

产地

美洲美国

应用领域

暂无

溅射离子泵

无油泵

进口

H2 110-520l/s; CO 45-210l/s; N2 20-100l/s; Ar2 0.1-0.3l/s

≤1E-11mbar

Length 100mm/135mm

0.65~0.89 KG

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创新点
1. 可获得≤1E-11mbar的超高真空复合泵; 2. 体积小&重量轻,远低于市面上其他同类产品; 3. 模块化设计:可单独升级离子泵或NEG泵,灵活拆卸,降成本;

GAMMA推出了具有体积小、重量轻、灵活且抽速强劲的离子泵和NEG泵的复合泵 HyTan,满足您对超高真空的需求!


该系列复合泵具有强劲的抽氢气和惰性气体能力,特别适用于各种超高真空≤1E-11mbar下的应用。

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产品优势

该系列复合泵采用离子泵和NEG的抽气原理,无振动、耐高温、耐辐射、更稳定,无需电源也可正常抽空。

  • 超高真空用复合泵

离子泵和NEG复合,可以获得<=1E-11mbar极限真空

  • 轻便

重量:0.65-0.89kg

  • 抽速精悍

离子泵和NEG完全浸入真空腔内,对氢气抽速高达520L/S

  • 模块化设计

灵活拆卸,可单独升级离子泵或NEG,无需整套更换

  • 提供空间利用率

几乎不占系统的外部安装空间

多种选择

该产品系列有48钟不同型号,您可以根据您的应用,从一系列NEG模块、离子泵模块和馈通件中进行选择。

售后服务

1年

根据客户实际需求提供完善产品培训

我司定期安排设备巡检给出保养建议

非产品质量问题,设备故障,我司负责全部维修费用

在收到客户设备故障报告后,24小时内给出解决方案

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