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国仪量子聚焦离子束电子束双束电镜DB500

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品牌

国仪量子

型号

DB500

产地

中国大陆安徽

应用领域

暂无
荣誉勋章
2023年提名优秀新品

国产

FIB

肖特基场发射源

1.2nm@15KV

液态镓离子源

3 nm@30 kV

1 pA~50 nA

创新点
1.创新全自研离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,可用于高质量纳米加工和TEM制样。 2.高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品。 3.样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位。 4.自动化程度高,气体注入器可自动加热和伸缩,大束流加工时自动防护电子物镜。
  • 500V-30KV

DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒,是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,低电压高分辨率成像,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源,拥有高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构,拥有24个扩展口,配置全面,自主可控,扩展性强,为您打造全能纳米分析和加工中心。


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产品优势

高压隧道技术和无漏磁物镜的电子镜筒,高分辨率成像,兼容磁性样品

“承影”离子镜筒,高稳定、高质量的离子束流,用于高质量纳米加工和TEM制样

样品仓内压电陶瓷驱动的机械手,集成式控制方式,操作精准到位

自主可控,扩展性强,集成化设计的离子源更换时间快,极致的售后服务,提供免费的三年质保无忧服务



技术介绍


离子镜筒"承影"

技术特点

分辨率:3 nm@30 kV

探针电流:1 pA~50 nA

加速电压范围:500 V~30 kV

使用寿命:≥1000小时

长时间稳定性:72小时不间断工作

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纳米机械手

技术特点

仓内安装方式

三轴全压电驱动

步进精度≤10nm

最大移动速度2mm/s

集成式控制方式

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气体注入器

单气体注入

多种气源可选

伸缩距离≥35 mm

重复定位精度≤10 um

加热温度控制精度≤0.1℃

加热温度范围:室温~90℃

集成式控制方式

离子束-电子束协同






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产品参数

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售后服务

1年

现场技术培训和年度系统培训

根据合同约定

非人为损坏免费上门维修,部件免费更换,消耗品除外

24小时全天候响应,确保国内客户24小时内给予明确解决方案,48小时内到场维修

国仪量子聚焦离子束电子束双束电镜DB500信息由国仪量子技术(合肥)股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于国仪量子聚焦离子束电子束双束电镜DB500报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

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