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HiQuad 质谱仪系统
高测量速度，动态范围大，高灵敏度和杰出长期稳定性
偏置离子源形成的低背景信号，场轴技术形成的低探测界限
Quadera软件用以简单和明了的操作和显示
借助集成的矩阵计算确定气体浓度
高精度气体分析仪 HiQuad™ 技术参数：
质量数 amu | 1-128 | 1-300 | 1-512 *3) |
最低检测限 mbar | 5X10-16 | 2X10-15 | 1X10-15 |
Ar 灵敏度,最低 *1) A/mbar | 1X10-3 | 2X10-4 | 5X10-4 |
最大操作压力 mbar | |||
法拉第 | 1X10-4 | 1X10-4 | 1X10-4 |
SEM | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 |
分压比 SEM ppb | < 0.3 | < 1 | < 0.5 |
分析仪 | QMA 410 | QMA 430 | QMA 400 |
杆系统, 材料 / 直径 mm | Mo / 16 | 不锈钢 / 8 | Mo / 8 |
射频发生器 (RF) | QMH 400-1 | QMH 400-5 | QMH 400-5 |
静电计前置放大器 | EP 422 | EP 422 | EP 422 |
工作温度 / 分析仪°C | 150 | 150 | 150 |
烘烤温度 / 分析仪 *2) °C | 400 | 400 | 400 |
连接法兰 | DN 100 CF-F | DN 63 CF-F | DN 63 CF-F |
*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 最高 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1％, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41
高精度气体分析仪 HiQuad产品优势：
1. 模块化设计灵活
2. 使用 Quadera® 软件, 操作简单
3. 极高的测量速度, 最高达 125μs/ amu
4. 极高的灵敏度且动态范围宽
5. 内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信
若您想详细了解气体分析仪 HiQuad, 请联络上海伯东.
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