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- 50nm
- 0.1角秒
- 1ppm
- ±500°/s
- 0.5角秒
专为动静态角度测量设计，主要用于产生高精度角度和高稳定性角速度；
转台采用超精密气浮轴承，提高了运动精度和超平滑率；
配置高精度圆光栅，通过多读数头实现自校准，实现高空间定位精度；
高可靠线性驱动控制系统，超高运动精度和运动速率稳定性；
实现深亚秒级静态角度和1ppm 稳定角速度生成；
各项参数可根据用户需求定制；
本单位承接0.1角秒至10角秒级各类高精度转台的定制开发。
典型参数
值
回转精度
0.05um
定位精度
0.1角秒
角位置重复定位精度
0.1角秒
倾斜回转误差
0.5角秒
速率稳定性
高速（≥50°/s，360°范围）：0.0001%；
中速（5°/s～50°/s，10°范围）：0.001%；
低速（≤5°/s，1°范围）：0.02%。
速度范围
±500°/s
安装台面尺寸
φ300mm
承载能力
≥30kg
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
到货后10天内
2小时内
是
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高精度转台 位置速率转台信息由中国工程物理研究院机械制造工艺研究所为您提供，如您想了解更多关于高精度转台 位置速率转台报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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