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ESI prepFAST PPQ
超纯化学品在线稀释和预浓缩系统（半导体应用）
prepFAST PPQ利用注射器驱动的UPW 、半导体级酸和标准溶液的流动，实现样品稀释和标准曲线生成的自动化。它消除了对样品的人工处理，在直接分析模式下提供亚ppt的检测限能力，在浓缩模式下提供亚ppq的检测限能力。
直接分析模式：
-任何样本矩阵的通用性
-亚PPT检测限值
-自动化MSA校准
-自动在线稀释
浓缩模式：
-适用于UPW、30%H2O2和IPA
-低于PPQ检测限值
-在回收金属的同时去除难降解的基质，如IPA
-消除ICPMS干扰和背景对结果的影响
-与直接分析相比灵敏度更高
UPW中的浓度模式检测限值（1000x浓度系数）
Elements | DL (ppq) | Elements | DL (ppq) |
Li | 0.02 | Fe | 0.3 |
B | 9 | Co | 0.01 |
Na | 0.6 | Ni | 0.07 |
Mg | 0.2 | Cu | 0.07 |
Al | 0.6 | Zn | 0.4 |
Si | 240 | Mo | 0.3 |
K | 0.4 | Ag | 0.05 |
Ca | 0.3 | Cd | 0.06 |
Ti | 0.2 | Ba | 0.04 |
Cr | 0.4 | W | 0.4 |
Mn | 0.07 | Pb | 0.05 |
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否
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一年一次
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