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机器是双系统控制模式，可电脑控制，也可以触摸屏控制。
数据处理：测试数据可显示测试点的 X, Y 坐标，电流电压范围，电阻，电阻率等。
图谱功能画面：制图软件可根据样品形状，测量点数量和位置，测量点的方阻值绘出2D, 3D MAP图.
控制系统：机器是双系统控制模式，可电脑控制，也可以触摸屏控制
有伺服电机，高精度走位，探头压力传感器，设有多重压力感应保护机制。测量区域封闭无尘空间，减少污染。
机器参数
1．方阻测量范围：1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
2．四探针探头测量金属类型：铝 / 钛 / 镍钒 / 金/ 铜 等金属
3．四探针探头测量金属厚度：100A～10μm
4．四探针系统电流量程：1μA , 10μA , 100μA ,1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档
5．四探针标准晶圆方阻重复性：1，≤±0.1%（同点静态测量）2，≤±0.2% （动态多点测量）
6．四探针标准晶圆测量精度：≤±1%（典型晶圆）
7．量测区域：以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm
8．测试图形：
1，极地图形（在对位晶圆的notch)
2，矩形图形（无效边缘排除以外进行选择）
3，直线扫描（可以是直径，半径或沿直径的点到点，最小距离0.1mm)
4，用户自定义（使用模板）
9． 测量图形表示：可以为轮廓图，3D图，water上显示的数据图数据表示
10． 探针自清洁功能：陶瓷片清洁
11． 所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel，Word文档，工作站等，数据图形可以合并
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后1天内
24小时内
是
7天内
是
30天
1年
否
是
是
是
是
是
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技术参数
不支持
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