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KOSAKA高精度台阶仪/便携式台阶仪
佳重复性与线性度
• 采用直动式检测方式
• 可避免圆弧补正误差
• 可避免Bearing间隙误差
• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
高分辨率
• 纵轴高分辨率0.1nm
• 横轴高分辨率0.1um
• X测定速度可调：5μm~2mm/s
低测定力
• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定
• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等
真直度保证-1
售后服务
200天
1年
安装调试现场免费培训
德国高精度台阶仪/便携式台阶仪KOSAKA信息由南通宏腾微电子技术有限公司为您提供，如您想了解更多关于德国高精度台阶仪/便携式台阶仪KOSAKA报价、型号、参数等信息，宏腾微电子设备客服电话：400-860-5168转6134，欢迎来电或留言咨询。
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