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美国BRUKER 进口摩擦磨损试验机 TriboLab CMP

报价 ¥150万 - 200万

品牌

布鲁克

型号

TriboLab CMP

产地

美洲美国

应用领域

暂无

产品简介:

TriboLab CMP 利用其前身产品 (Bruker CP-4) 超过 20 年的 CMP 领域专业知识,为业界领先的 TriboLab 平台带来了一套完整的功能。基于本套设备产生的高精度和高可重复性使得在整个 CMP 流程中能够进行高效的鉴别、检查和连续功能测试。TriboLab CMP 是市场上唯一能够提供广泛的抛光压力 (0.05-50 psi)、速度(1 至 500 rpm)、摩擦、声发射和表面温度测量的工艺开发工具,可准确、完整地描述 CMP 工艺和耗材。


产品参数:


TriboLab CMP
测量能力桌面型化学机械抛光测试平台
系统属性集成高速/大扭矩旋转马达
同服控制精准加载载台;电动定位水平载台
负载/摩擦力传感器,用于抛光和抛光垫修正负载控制,测量和记录原位声发射和温度测量与记录
机械零件的腐蚀防护;可编程双泵和冲洗泵系统
软件布鲁克 CMP 操作和数据分析软件
电脑系统Windows7,32位操作系统,2GB内存,>250GB硬盘
垂直定位系统最大行程:100mm
分辨率:0.5um
速度:0.001-10mm/s
水平定位和移动系统最大行程:75mm
分辨率:0.25um
速度:0.001-10mm/s
晶圆头转速:1-500rpm
2英寸晶圆头压强范围:0.29-29psi
4英寸晶圆头压强范围:0.07-7.2psi
其它尺寸品圆头压强范围:0.9-90psi(4-400N)
分辨率:20mN
底盘转速:1-500rpm
底盘尺寸:直到9in(228mm)
修正器加载范围:2-200N
分辨率:10mN
修正头尺寸:直到4.25 in
扭矩能力5Nm,100RPM;2.5Nm,500RPM
温度测量-25-1000℃
声发射响应范围0.2-5.0MHz
可编程泵(选项)流速:2.2-480mL/min
电源要求220VAC.2.5kW
系统尺寸394mm(宽)x610mm(深) x775(高)


产品特点:

  • 专业的研发用小型CMP系统

全面再现晶圆抛光工艺条件 

提供无与伦比的测量重复性和细节 

使用小晶片而不是整个晶圆作测试,节省大量成本

  • 在线实时诊断,可以更好地了解抛光过程

更好地观测瞬时抛光特性 

收集整个测试过程的数据,从晶圆基底接触抛光垫开始到测试结束 

提供更完整、更详细的数据,帮助工艺开发早期做决定

  • 灵活的样品类型、尺寸、和安装配置提供最广泛的适用性

可抛光任何平面材料,使用任何修正盘,抛光液和抛光垫 

可容纳小晶片到100mm 晶圆,接受多样品夹具

售后服务

1年

7. 免费培训至用户能完全独立操作,我方随机提供用户操作及维修手册1份,使用户能

3月1次

2. 产品整机免费保修期为壹年(耗材除外),负责终身维修。

在接到用户通知后立即响应。

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