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Filmetrics F50系列薄膜厚度测量仪
自动化薄膜测绘
Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)
測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。
不同的 F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的 F50是最受欢迎的产品。 一般较短的波长 (例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
光纤电缆
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
BK7 参考材料
整平滤波器 (用于高反射基板)
真空泵
备用灯
额外的好处：
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
型号规格
型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
|---|---|---|
| F50 | 20nm-70µm | 380-1050nm |
| F50-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
| F50-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
| F50-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
| F50-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
| F50-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
| F50-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
| F50-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
| F50-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
常见的选购配件：
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
24小时内
是
2天内
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