国产
一、概述
IRE-200是一款超高精度的外延层厚度测量设备,利用红外光谱经傅里叶变换进行快速分析,主要应用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各类外延片的外延层厚度测量。
■ 单抛/双抛等多种模式选择支持;
■ 自定义mapping功能;
■ 高检测速率:Si标准外延片测量25点≤3min;
■ 高检测精度:≤0.01um 。
二、产品特点
1)设备采用高性能光源模块,光源稳定性好,信噪比高,覆盖范围7800-350cm-1。
2)搭配自主研发算法软件,可精准快速地获取测量结果。
3) 搭配自主研发的mapping运动台,定位精准、测量速度快。
三、产品应用
IRE-200广泛应用于半导体行业中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延层厚度的量测。
SiC EPI量测案例
技术参数
1年
是
有
一年内不限次数培训
3月一次
免费更换部件(易损易耗件除外)
若远程无法解决,承诺24小时内到客户现场进行维修
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