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EMEF FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY\
MOBILITY TESTER
EMEF全自动电阻率\迁移率测试仪
产品描述
EFEM（半导体设备前置模块）从属于半导体生产设备，其内部主要由晶圆装载模块、空气过滤器FFU、
晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆读码装置、自动化控制模块等组成。其中晶圆装系统(Loadport)、晶
圆运输机器人(Robot)、晶圆对准装置(Aligner)和晶圆读码装置(OCR)是最核心的四大部件。
售后服务
1年
是
有
3人次培训
6个月1次
免费维修
4小时相应
EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪信息由陕西卫水环保科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
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