应用领域
RBZ-SG系列是一款长行程的精密平升Z轴,具有纳米级微动步距,高动态性能,结构紧凑,用于晶圆加工及检测、飞秒激光加工、测试测量、生物工程等高精度行业。
结构特点
RBZ-SG系列直驱结构,承载能力大,在一个长行程的移动范围,保持尽可能低的高度,优化阿贝误差影响,有助于提高整体精度性能。抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向,为提升直线度、Pitch Roll Yaw指标提供创新解决方案。
直驱结构
力矩电机作为直驱方式,没有皮带、齿轮、蜗轮蜗杆和弹性联轴器中间传动环节,RBZ-SG平升Z轴直接托举负载运动,相对侧升结构Z轴,无需转接板,负载重心布置在Z轴中心,有利于运行过程减小俯仰和偏摆的影响。
光栅闭环反馈
RBZ-SG平升Z轴为双闭环反馈,直线光栅和圆光栅相结合的双反馈方式,直接测量工件移动时的误差,提高了精度性能。
规格指标
型号 | 单位 | RBZ-20SG | RBZ-35SG | RBZ-50SG | |
行程 | mm | 20 | 35 | 50 | |
补偿后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.15 | ±0.15 |
标准值 | ±1 | ±1 | ±1 | ||
双向重复定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.075 | ±0.075 |
标准值 | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 | ||
直线度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.5 | ±0.5 | ±0.75 |
标准值 | ±3 | ±4 | ±5 | ||
Pitch Roll (2) | Plus (1) | arc sec | ±2.5 | ±2.5 | ±3.5 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±2 | ±2 | ±3 |
标准值 | ±5 | ±5 | ±7 | ||
电子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5(选配) | |||
最大速度 (空载) (4) | mm/s | 10 | 10 | 20 | |
最大负载 | kg | 20 | 40 | 60 |
注:
以上为单轴精度指标,在洁净间内测试,温度20℃±1℃,湿度40%~60%RH,振动等级VC-E,测试点在负载板上25mm处,测试速度5mm/s,Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法,多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关,环境的变化会导致精度变化,如要求非标准测试,请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标,是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的指标,最大速度取决于负载大小。
订购信息
型号 | RBZ-SG | -20 | -PLUS | -5 | -DOU | -0 | -DB | -3 | -N |
描述 | 平升精密Z轴 | 行程20mm | PLUS高精度版 | 电子分辨率5nm | 增量式双光栅反馈 | 零点在行程中心位置 | DB接头,无线缆管理 | 线缆长度3米 | 常压环境 |
名称 | 型号 | 描述 |
精密Z轴 | RBZ | 平升精密Z轴 |
行程 | -20SG -35SG -50SG | 行程20mm 行程35mm 行程50mm |
精度等级 | -N -PLUS | 标准值 PLUS高精度版 |
电子分辨率 | -N -0.3 -5 | 默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 | -1 -T -DOU -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 增量式双光栅反馈 绝对式光栅反馈 |
零点位置 | -U -0 -D | 零点在行程上极限位置 零点在行程中心位置(标配) 零点在行程下极限位置 |
线缆管理 | -DB -C4 | DB接头,无线缆管理(标配) 真空线缆 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米(标配) 长度5米 定制 |
气压环境 | -N -VC | 常压环境(标配) 真空环境 |
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12月
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