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产品名称：COHERENT准分子激光器COMPex
产品型号：COMPex 50
产品介绍
COMPex准分子激光器是效率高的光源，具有紧凑的设计和易于安装和操作的特点。它们在要求苛刻的应用中提供更佳的结果，如固体取样系统（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和准确的材料处理。COMPex具有陶瓷预电离功能，可提供高达100毫焦耳的输出，以及脉冲上脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气体处理器，可以延长气体和光学寿命。
性能特点
l 选择157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波长，实现全材料柔性
l 高达750 mJ的更好的脉冲能量，可在大视场下进行有效消融
l 0.75%的脉冲稳定性，均方根值，确保高通量控制
l 基础脉冲控制和系统参数记录，提供智能和可复制的薄膜
技术参数
产地：美国
波长：193 nm
脉冲能量：100 mJ
重复频率：max.50 Hz
平均功率：4 W
能量稳定性（1西格玛）：≤0.75%
脉冲持续时间（FWHM）：典型值20 ns
横梁尺寸（V x H，FWHM）：典型值14 x 5 mm2
光束发散（V x H，FWHM）：典型值2 x 1 mrad2
光束指向稳定性（1 sigma）：≤50µrad
水冷：≤5升/分钟（1.3加仑/分钟），10至20°C
连接：1/2“
重量：280公斤（617磅）
尺寸（长x宽x高）：1258 x 375 x 813 mm³
（50 x 15 x 32 in.³）
产品尺寸
产品应用
PLD–脉冲激光沉积
薄晶圆加工
激光剥离
LA-ICP-MS
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准分子PLD为改进的太阳能电池制造优良的薄膜能源/新能源 2024-06-07
30天
0月
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