仪器对比
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1. 样品台专为晶圆设计，可适应6-12寸的晶圆，具备四向对中功能。
2. 矩阵型多点测试，测试精准简单方便。自动定位-滴液-接液-自动测量-自动换位。
3. 一次测试点位多达50+个,可在原图上直接显示数据并保存。
4.测试结果可直接保存在阵列图上。
5.批量方案设置功能，可保存多个测量方案，一次保存，终身无需再设定。可随时调取。
货期：3天内
品牌：北斗仪器
型号：CA720
产地：广东东莞
名称：全自动晶圆专用接触角测量仪
接触角（Contact angle）是指在气、液、固三相交点处c作的气-液界面的切线，此切线在液体一方的与固-液交界线之间的夹角θ，是润湿程度的量度。是现今表面性能检测的主要方法。采用光学成像的原理-图像轮廓分析方式测量样品表面的接触角、润湿性能、表界面张力、前进后退角、表面能等。主要由光源、注射单元、样品台、采集系统、分析软件等组成。北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720采用全自动进液装置，性价比高、拓展性强、功能全面、可满足各种常规测量需求，目前已经广泛使用在众多高校院所及企业。
专为晶圆深度定制的一台北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720，广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究，是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。
符合标准：
ASTM 5725 / 用自动接触角测试仪测试片状材料表面润湿性和吸收性的标准方法
ASTM C 813 / 用接触角测量法测试玻璃疏水污物的标准方法
型号 | CA720全自动晶圆专用接触角测量仪 | |
试验 平 台 | 尺寸 | 直径320mm |
前后Y移动 | 自动：行程160mm,精度0.1mm | |
上下Z移动 | 自动：行程30mm,精度0.1mm | |
水平调整 | 整机水平调整，摄像头水平调整（配送专业级XY水平仪） | |
可放置样品 | 6-12寸 | |
样品台材质 | 铝合金带四向对中技术 | |
进 液 系 统 | 微量进样器X移动 | 行程：50mm，精度0.1mm（针头对中及液滴转移） |
进液控制移动 | 行程：60mm,精度：0.001mm | |
滴液控制模式 | 自动，精度：0.01ul | |
加液方式 | 自动（配送5ml玻璃烧杯自动一键加液，加满自动停止） | |
微量进样器 | 容量：500ul(实时显示剩余容量) | |
针头 | 亲水针头0.5mm不锈钢针头（可替换）20个、超疏水针头0.25mm（可替换）20个 | |
成 像 系 统 | 镜头 | Subpixel级别0.7-4.5远心轮廓深度定制镜头 |
相机 | 日本SONY原装进口高速工业级芯片(Onsemi行曝光) | |
传感器类型 | 1/1.8 英寸逐行扫描CMOS | |
分辨率 | 1280× 1024 | |
镜头控制 | 仰视角度：±10度，精度：1度 | |
调焦移动 | 行程：0-10mm，精度1mm。 | |
帧率 | 80帧/s（可选配全局曝光高速400帧/s的相机） | |
光 源 系 统 | 组合方式 | 采用石英扩散膜与均光板使得亮度更均匀，液滴轮廓更清晰 |
光源 | 采用进口CCS工业级蓝色冷光源（有效避免因光源散发热量蒸发液滴），使用寿命可达5万小时以上 | |
亮度调节 | PWM数字调节 | |
光源波长 | 460-465nm | |
功率 | 10W | |
接 触 角 测 量 | 接触角测量方法 | 悬滴法、座滴法、前进角、后退角、滚动角、薄膜法等 |
测量软件 | CA V1.2.1静/动态接触角测量软件+表面能测量软件 | |
软件操作系统要求 | windows 10(64位) | |
接触角测量方式 | 自动与手动 | |
接触角计算方法（static contact angle） | 自动拟合法（ms级别一键全自动拟合，不存在人工误差）、三点拟合、五点拟合、自动测量（包括圆拟合法/斜圆拟合法（Circle method/ Oblique Circle）、椭圆拟合法/斜椭圆拟合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)）、凹凸面测量等 | |
动态接触角测量 （Dynamic contact angle） | 前进角（Advancing angle），后退角（receding angle），滞后角（hysteresis angle），滚动角（选配）(可批量拟合多张图片或视频连续拟合计算Video analysis) | |
基线拟合 | 自动与手动 | |
角度范围 | 0°＜θ＜180° | |
精度 | 0.1° | |
分辨率 | 0.001° | |
表 面 能 | 表面能测量方法 | Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（软件中预装37种液体数据库，可自行建立液体性能参数）数据可直接调入用于表面能估算，液体库数据可自行添加、删除和修改。可分别得到固体表面能、色散力、极性力、氢键力、范德华分量、路易斯酸分量、路易斯碱分量等 |
表面能单位 | mN/m | |
其 他 | 机架型材 | 欧标160 |
输入电源 | 220V 50-60Hz | |
仪器尺寸 | 约890mm（W）*400mm(L)* 580mm(H) | |
仪器重量 | 约60KG | |
表界面张力 | 测量方法 | 自动拟合+手动拟合 |
精度 | 0.01 mN/m | |
测量范围 | 0.1 mN/m -2000 mN/m | |
润湿性分析 | 粘附功 | 一键自动分析 |
铺展系数 | 一键自动分析 | |
粘附张力 | 一键自动分析 | |
精度 | 0.001 mN/m | |
单位 | mN/m | |
众所皆知，软件是一台仪器的灵魂所在，组成系统的硬件虽为测量提供了基础，但只有在软件的支持下，才能完美地实现硬件的功能，充分发挥其潜力，使系统的总体功能和性能如虎添翼。
本公司研发定制的CA V1.2.1静/动态接触角测量软件+表面能测量软件专用测控软件自2010年开始就面向客户提供使用，经过11年来各行业客户的使用反馈、使用要求、国家标准和国外标准的融合，已经达到一个很成熟稳定的状态。
拥有自主知识产权的软件控制系统（行业内极少），在对以后软件升级，新标准更换的时候起到一个很大的优势。
接触角测试记录
LAB-TR-020
一、测试信息
样品名称 | 8寸 | 样品批号 | 8寸 |
样品编号 | 液体编号 | 测试方法 | LYSD |
测试介质 | 蒸馏水 | 介质密度 | 1g/cm³ |
测试环境 | 温度：23° 湿度：55% | 测试日期 | 2023-04-16 11:16:43 |
仪器名称 | 接触角测量仪 | 仪器型号 | CA720 |
平台直径 | 280mm | 样品直径 | 200mm |
间隔尺寸 | 20mm | 测试个数 | 4 |
旋转度数 | 40° | 旋转次数 | 9 |
测试员 | shibc | 备注 |
二、测试数据
序号 | 时间(H.M.S) | 左接触角(°) | 右接触角(°) | 平均接触角(°) | 液滴直径(mm) | 位置 | 判断结果 | 试验方法 |
1 | 11:10:46 | 28.168 | 28.216 | 28.192 | 3.908 | 1-1 | OK | 自动拟合-椭圆 |
2 | 11:10:56 | 27.251 | 27.753 | 27.502 | 3.958 | 1-2 | OK | 自动拟合-椭圆 |
3 | 11:11:05 | 24.371 | 24.178 | 24.274 | 4.199 | 1-3 | OK | 自动拟合-椭圆 |
4 | 11:11:14 | 24.628 | 25.042 | 24.835 | 4.175 | 1-4 | OK | 自动拟合-椭圆 |
5 | 11:11:23 | 24.676 | 23.986 | 24.331 | 4.290 | 1-5 | OK | 自动拟合-椭圆 |
6 | 11:11:32 | 24.461 | 24.813 | 24.637 | 4.137 | 1-6 | OK | 自动拟合-椭圆 |
7 | 11:11:41 | 23.878 | 24.066 | 23.972 | 4.167 | 1-7 | OK | 自动拟合-椭圆 |
8 | 11:11:51 | 26.225 | 24.688 | 25.456 | 4.009 | 1-8 | OK | 自动拟合-椭圆 |
9 | 11:12:00 | 24.085 | 24.411 | 24.248 | 4.197 | 1-9 | OK | 自动拟合-椭圆 |
10 | 11:12:09 | 29.655 | 29.677 | 29.666 | 3.888 | 1-10 | OK | 自动拟合-椭圆 |
11 | 11:12:19 | 26.623 | 26.800 | 26.712 | 3.950 | 1-11 | OK | 自动拟合-椭圆 |
12 | 11:12:28 | 23.854 | 23.771 | 23.812 | 4.158 | 1-12 | OK | 自动拟合-椭圆 |
基准值上限 | 80 | 基准值下限 | 4 | |||||
最小角度 | 23.771 | |||||||
最大角度 | 29.666 | |||||||
平均角度 | 25.262 | |||||||
三、实时曲线
四、测试图片
1. 精细机械：系统的框架选用高质量的进口高强度氧化保护铝型材并烤漆处理，所有的其它主要组件也都是由铝合金，不锈钢和铜合金通过精密制作而成。保证仪器极强的稳定性。
2. 精密定位：系统所有的线性移动单元，包括三维样品台（xy-轴），(Z-轴)注射器/针头的移动调节，均是由直线铜齿条和精密燕尾槽驱动，确保传动平稳、轻松和精细。
3. 配置齐全的进样器与针头选择：提供数十种不同规格的进样器供使用者选择，如不同规格（25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….）,不同材质（气密玻璃进样器/塑料进样器），不同品牌（Hamilton/boli….）以满足不同客户需求。提供各种规格（10-34#）以及不同材质（不锈钢/聚四氟乙烯/pp挠性针头）以及特殊针头（弯曲针头），可用于常规接触角测量，也可用于超疏水、超亲水、高粘度等特殊液体的进样、液滴转移等。
4. 成像系统：采用了行曝光（Rolling Shutter）高分辨率CMOS图像传感器配合pomeas0.7-4.5远心轮廓镜头。保证最佳的成像效果。同时亮度连续数字可调的高强度背光冷光源为成像提供了均匀的背景照明。优质镜头和高分辨率相机能够以理想的尺寸和亮度在图像中显示出液滴，即使是非常小的液滴。
5. 领先的软件平台：软件是整个测量系统的灵魂和大脑。CAV1.2.1软件为用户提供了范围广泛的功能和特性，而且其中的许多项目在这一领域均是出类拔萃。作为一光学方法，测量的精度取决于成像的质量和后着的处理、分析和计算方法。其中采用的亚像素（sub-pixel）液滴坐标检测，自动液/固/流-三相接触线识别，液滴全轮廓分析，和基于连续信息反馈的液滴监视功能等构成了软件的核心组件，而且这一切又都能实时完成。具备双边接触角自动测量快速拟合功能，分析液体与固体的表面润湿性能、更准确的分析表面的实际润湿情况。
6. 北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720软件自动生成报告，其中涵盖word、excel、PDF图文、谱图等多种数据报告。
7. 提供德国进口的接触角测量校准样，确保仪器的精准性，角度校准标准片5°、8°、30°（选配）；60°、90°、120°（选配）。
8. 国内首创基线自动倾斜功能，可修正由于样品倾斜或机台倾斜时的差异。
9. 分级管理系统，权限管理。分实验员与管理员。避免人为数据的改动影响测试结果。
10. 北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720具备双边接触角测量快速拟合功能，更全面量分析液体与固体的表面润湿性能、更准确的分析表面的实际润湿情况；
11. 动态拍摄、视频快速测试数据，可以连续性记录测试接触角的变化，再由软件自动批量拟合；
12. 北斗全自动晶圆接触角测量仪CA720具备历史数据库功能，记录每一次的测试结果，可追溯历史测试结果。
1.usb2.0数字CCD摄像头 1个 | 2.连续变倍光学系统 1个 |
3.手动加样系统 1套 | 4.手动CCD倾斜系统 1套 |
5.表界面分析测量系统应用软件 1套 | 6.说明书纸质一份及说明书电子版 1份 |
7.保修卡及合格证1份 | 8.亲水进样针10个，疏水进样针10个 |
9.500ul进样器1个 | 10.电源线及数据线1条 |
11.XY专用水平仪1个 | 11.晶圆自动旋转系统 1套 |
物料名称 | 数量 | 规格描述 |
主机框架 | 1 | 高强度进口欧标航空铝合金结构搭配模块化设计 |
相机 | 1 | USB2.0接口， SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS，分辨率H1280×V1024，帧率80fps |
镜头 | 1 | 对焦距离90mm，0.7×时视场13.71～18.28mm，4.5×时视场2.13～2.84mm |
光源 | 1 | 日本CCS工业级深度定制单波长LED轮廓冷光源，120个密集光源点，配合美国进口柔光板与均光板，亮度连续可调，24V安全电压 |
支撑脚 | 1 | 铝合金+减震胶垫结构，配合减震系统，可调节机台水平与防震效果 |
俯仰调整滑台 | 1 | 螺杆控制，调整范围±1° |
滴液驱动模块 | 1 | 电机驱动，超细牙丝杆转动，移动行程60mm， 导程0.5mm，重复定位精度±0.1μl |
滴液升降模块 | 1 | 旋钮驱动，丝杆转动，XY移动行程50mm， 重复定位精度±1mm |
样品台升降滑台 | 1 | 齿轮齿条控制，移动行程40mm，分辨率0.1mm |
样品台平移滑台 | 1 | 齿轮齿条控制，移动行程X30×Y50mm，分辨率0.1mm |
固定件和连接件 | 1 | AL6061铝合金数控加工而成，表面烤漆处理 |
控制器 | 1 | 微机控制系统，发送指令控制滴液系统 |
电气控制单元 | 1 | 集成了包括电路、电位器、开关、电源等 |
测量软件 | 1 | 包括接触角测量、表面张力测量、 表面能估算和润湿性分析 |
微量进样器 | 1 | 500uL，分辨率0.001ul |
耗材 | 1 | 亲水进样针，疏水进样针,500ul进样器 |
电脑（选配） | 1 | 如下配置 |
物料名称 | 品牌 | 物料名称 | 品牌 |
CPU | 英特尔i3处理器 | 鼠标键盘 | 力拓 |
主板 | 英特尔 H61主板 | 机箱 | 金和田 |
内存 | 华硕4G DDR3 1600 | 电源 | 长城 |
硬盘 | 七彩虹 250G | 显示器 | HUYINIUDA 19寸 |
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