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1. 产品概述
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途，友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效，具有单腔和多腔两种机型，可满足不同客户需求。
2. 设备用途/原理
Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，Esther/Eris 系列 8英寸单片常压/减压硅外延系统，传输系统和工艺模块设计可兼容多种工艺用途。友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效，具有单腔和多腔两种机型，可满足不同客户需求。
3. 设备特点
晶圆尺寸 6、8 英寸，适用材料 硅，适用工艺 常压：N&P 常压硅外延，减压：埋层外延、选择性外延、多晶外延，适用域 科研、集成电路。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
8英寸单片常压/减压硅外延系统信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于8英寸单片常压/减压硅外延系统报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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