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电阻式碳化硅长晶炉

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品牌

北方华创

型号

AGF系列

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

1. 产品概述

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。

2. 设备用途/原理

AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长4 组加热器独立控制,灵活的温场调节机能力坩埚系统具备升降、旋转功能,温场更均匀下装载,上维护,操作便捷

3. 设备特点

晶体尺寸 6、8 英寸加热方式 电阻加热适用材料 碳化硅适用工艺 物理气相输运法(PVT 法)适用域 科研、化合物半导体


售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

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