1. 产品概述
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长。
2. 设备用途/原理
AGF系列 电阻式碳化硅长晶炉,适用于 6、8 英寸,导电 / 高纯半绝缘型 SiC 晶体生长,4 组加热器独立控制,灵活的温场调节机能力。坩埚系统具备升降、旋转功能,温场更均匀,下装载,上维护,操作便捷。
3. 设备特点
晶体尺寸 6、8 英寸,加热方式 电阻加热,适用材料 碳化硅,适用工艺 物理气相输运法(PVT 法),适用域 科研、化合物半导体。
60天
1年
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