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扩散/氧化系统

报价 面议

品牌

北方华创

型号

HORIC D200系列

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

1. 产品概述

HORIC D200系列 扩散/氧化系统,半导体客户端机台装机量大。

2. 设备用途/原理

HORIC D200系列 扩散/氧化系统半导体客户端机台装机量大可根据客户需求配置多工艺组合的机台安全性能高:设备及所使用的元件符合国标和国际标准可提供先进成熟的 MES 系统解决方案优异的工艺技术支持

3. 设备特点

晶圆尺寸 4、6、8 英寸适用材料  硅、碳化硅、硅基氮化镓适用工艺  磷扩散、硼扩散、氧化、退火、合金适用域  科研、化合物半导体


售后服务

60天

1年

安装调试现场免费培训

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