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1. 产品概述
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉,适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备。
2. 设备用途/原理
VERIC A6151A 碳化硅高温退火炉，适用于碳化硅高温激活 & 退火的设备，高温度 2000℃，升温速率可达 100℃/min。石墨电阻加热，工艺腔室洁净。自动装片，Cassette to Cassette。SEMI S2/S6 认证。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4/6 英寸兼容，适用材料 碳化硅、氮化铝，适用工艺 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、沟槽平滑，适用域 科研、化合物半导体。
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
碳化硅高温退火炉信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于碳化硅高温退火炉报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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