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12英寸金属刻蚀机

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品牌

北方华创

型号

NMC 612G

产地

中国大陆北京

应用领域

暂无

1. 产品概述

NMC 612G 12英寸金属刻蚀机,可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀。

2. 设备用途/原理

NMC 612G 12英寸金属刻蚀机可用于铝、硅,氧化物、钼、氧化铟锡等多种材料刻蚀高性能静电卡盘,可用于 Si wafer 及玻璃片稳定吸附设备提供多种均匀性调节手段本土化服务及定制化软件配置能力

3. 设备特点

晶圆尺寸 12英寸适用材料 铝、硅、氧化物、钼、氧化铟锡适用工艺 铝线、铝垫、硅、介质刻蚀、铝 / 钼 /ITO 等金属刻蚀适用域 新兴应用、集成电路百科:‌半导体金属刻蚀机的原理‌主要涉及到湿法刻蚀和干法刻蚀两种技术。这两种技术都是半导体制造工艺中非常重要的步骤,用于有选择地从硅片表面去除不需要的材料,以达到在涂胶的硅片上正确地复制掩模图形的目的。


售后服务

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