英国Raptor Photonics公司的Eagle XV相机是专门为真空特殊工作环境设计的,可以直接放置在真空腔室内使用。相机采用了Teledye e2v公司的背照式CCD芯片,100%的填充因子,可直接探测从真空紫外(极紫外)到软X-ray波段(12eV-20keV能量范围)。
主要特性>>
相机放置在真空腔室内使用
来自Teledyne e2v的背照式CCD芯片
可直接探测能量范围12eV-20keV
制冷温度-80℃,暗电流<0.0005e-/p/s
提供完整真空馈通的解决方案
真空度兼容性10-5至10-8mbar
技术参数>>
典型应用>>
EUV X射线光谱
软X射线显微镜
VUV/EUVIXUV光刻
X射线行射成像(XRD)
X射线荧光成像(XRF)
X射线相衬成像
X射线等离子体诊断
X射线源特性分析
1年
否
有
5-10人次技术培训,提供线上远程支持
无
免费维修及维护
24小时内响应并处理,48小时抵达现场
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