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1. 产品概述
PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可大对应φ 150mm。
2. 设备用途/原理
SiC功率器件用。研究开发。量产用。
3. 设备特点
大可对应φ150mm基板。大可加热2000℃。高真空对应。单批次25片一次性处理（也有5片处理机）
售后服务
60天
1年
安装调试现场免费培训
活性化退火设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于活性化退火设备报价、型号、参数等信息，深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话：400-860-5168转5919，欢迎来电或留言咨询。
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