Kashiyama 樫山工业 大尺寸晶片和FPD真空泵 SDL12E50/60|SDL20E60
报价 ¥10万 - 20万
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产品特点：
适用于大尺寸晶片和 FPD
可通过组合提供大容量，也可根据需要提供大于 150kL/min 的大容量
周期更短
大气压左右的大容量可实现高速泵送，最适合大腔体
产品参数：
| 型号 | SDL12E50/60 | SDL20E60 | SDL36E60 |
| 抽气速率 | 25000L/min | 40000L/min | 60000L/min |
| 极限压力 | 0.8Pa | ||
| 电源要求 | 3Phase AC200-220V, 380-480V | ||
| 尺寸（L*W*H） | 1020*520*1050mm | 1370*850*1295mm | |
| 重量 | 645Kg | 800Kg | 920Kg |
售后服务
1年
是
有
7. 免费培训至用户能完全独立操作，我方随机提供用户操作及维修手册1份，使用户能
3月1次
2. 产品整机免费保修期为壹年（耗材除外），负责终身维修。
在接到用户通知后立即响应。
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