日本R-DEC路德克二级差动排气型RDA-201G/屏幕ASHP-6
制造商名称:R-DEC株式会社
我们开发了Edge-RHEED,可用于1 Pa或更高的高成膜压力,例如PLD和激光MBE。
可使用高达 100 Pa
具有角度调节(倾斜)功能
磁屏蔽标准装备
闸阀标准设备
干式排气装置选项
包括安装支架(形状可协商)
ICF152安装法兰
带视口
带手动旋转防污百叶窗
带遮光罩
带直线运动机构,行程50mm
电子枪
型号 | RDA-201G |
绝缘电压 | 直流30kV |
光斑直径 | 最小Φ90μm |
灯丝 | 钨钢发夹 |
韦纳特 | 可变偏差 |
聚焦镜 | 空芯电磁透镜 |
偏光镜片 | 环形电磁透镜 |
光束偏转 | X:±2°,Y:±4°(机械手册) |
磁屏蔽 | 标准装备(仅限电子枪部分) |
运营压力 | <100帕 |
差速排气 | 第二级:灯丝室、喷嘴部分 |
最高烘烤温度 | 200℃ |
安装法兰 | ICF114-FH |
排气口法兰 | ICF70-FH |
尺寸 | Φ192毫米×160毫米×703毫米 |
专用屏幕
型号 | ASHP-6 |
安装法兰 | ICF152-FH |
视口 | 7056玻璃 |
筛网有效直径 | Φ38mm(铅玻璃) |
屏幕荧光粉 | P31 |
手动直线运动机构 | 行程距离 50 毫米 |
防污百叶窗 | 手动旋转 |
电源
型号 | RDA-006P |
30天
12月
安装调试现场免费培训
到货后5天内
1小时内
是
1天内
是
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