产品介绍
Dhyana 9KTDI Pro(简称:D 9KTDI Pro)背照式TDI 相机基于先进的sCMOS 背照式减薄和TDI 时间积分技术,采用可靠稳定的制冷封装技术,覆盖从180 nm 紫外到1100 nm 近红外宽光谱,有效提升紫外TDI线扫、弱光扫描检测能力,旨在为半导体晶圆缺陷检测、半导体材料缺陷检测、基因测序等应用提供更高效率、更稳定的检测支持。
180nm-1100nm 宽光谱
Dhyana 9KTDI Pro 采用背照式 sCMOS 技术,已验证的响应波段可覆盖180 nm - 1100 nm区域。256级 TDI技术可以大幅提升紫外(193nm/266nm/355nm等波段)、可见光、近红外等弱光成像信噪比,提高设备检测精度。
600 kHz @ 9K 超高速线扫
Dhyana 9KTDI Pro 配备CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ 高速接口,其传输效率相当于背照式 CCD-TDI 相机的54倍,显著提升设备的检测效率。Dhyana 9KTDI Pro的相机行频最高可达 9K @ 600 kHz,为行业提供快速的多级TDI线扫描解决方案。
先进制冷降噪技术
相机高速运行时产生的大量热量,不仅会影响成像质量,还会引起测量结果的波动。鑫图先进水冷和风冷技术,确保相机制冷性能即使长时间运行也能保持稳定状态,降低设备误检率。
技术参数
型号 | Dhyana 9KTDI Pro |
传感器类型 | BSI sCMOS TDI |
传感器型号 | Gpixel GLT5009BSI |
量子效率 | 82% @ 550 nm, 50% @ 350 nm, 38% @ 800 nm |
彩色 / 黑白 | 黑白 |
对角线尺寸 | 45.4 mm |
有效面积 | 45.36 mm x 1.28 mm |
分辨率 | 9072 ( H ) x 256 ( V ) |
像素尺寸 | 5 µm x 5 µm |
操作模式 | TDI, Area |
TDI 级数 | 4,8,12,32,64,96,128,160,192,224,240,248,252,256 |
扫描方向 | 正向,反向,触发控制 |
电荷转移效率 | ≥ 0.99993 |
位深 | 12 bit, 10 bit, 8 bit |
满阱容量 | 典型值:14 ke- @ 10 bit,15.5 ke- @ 12 bit |
动态范围 | 典型值:68.7 dB @ 12 bit,63.6 dB @ 10 bit |
最大线速 | 300 kHZ @ 12 bit, 600 kHZ @ 10 bit, 600 kHZ @ 8 bit |
读出噪声 | 7.2 e- @ 12 bit, 11.4 e- @ 10 bit |
暗信号不均匀性 | 典型值:1.5 e- @ 12 bit,3.5 e- @ 10 bit |
光响应不均匀性 | 典型值:0.30 % |
制冷方式 | 风冷,水冷,制冷速度 5 ℃ / min |
制冷温度 | 低于环境温度 35 ℃(水冷) |
Binning | 1 × 1, 2 x 1, 4 x 1, 8 x 1 |
ROI | 支持 |
触发模式 | 触发输入, 扫描方向输入 |
触发输出信号 | Strobe out |
触发接口 | Hirose, HR10A-7R-4S |
时间戳精度 | 8 ns |
增益 | 模拟增益:x2 ~ x8, 步进 0.5,数字增益:x0.5 ~ x10, 步进 1 |
数据接口 | CoaxPress-Over-Fiber 2 x QSFP+ |
光学接口 | M72 / 用户定制 |
电源 | 12 V / 8 A |
功耗 | < 75 W |
相机尺寸 | 100 mm x 100 mm x 145 mm |
重量 | 1800 g |
软件 | SamplePro |
SDK | C,C++,C#,Python |
操作系统 | Windows,Linux |
操作环境 | 工作: 温度 0~40 °C,湿度 0~85%;储存: 温度 0~60 °C,湿度 0~90 |
2年
否
有
需提前预约
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