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国产等离子体表面处理仪
13.56MHz
0-150W 可调
3.8L-5L
D200XΦ155mm
石英玻璃
2路
手动/自动
应用领域：
煤岩样品有机质去除
产品特点
◆ 7 寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20 个配方程序，工艺数据可存储追溯。
◆ PLC 控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
◆ 用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制准确。
◆ 气体返填吹扫，HEPA 高效过滤，防止二次污染。
◆ 石英真空舱，全真空管路系统采用316 不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
◆ 采用 60 度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
◆ 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
◆ 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
◆ 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
◆ 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
◆ 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
技术参数
型号 | ICP5Plus |
舱体尺寸 | D200XΦ155mm |
舱体容积 | 3.8L-5L |
舱体材质 | 石英玻璃 |
石英转瓶尺寸 | Φ75xH120mm |
转瓶转速 | 0-100rpm 可调 |
射频电源 | 13.56MHz |
射频功率 | 0-150W 可调 |
匹配器 | 自动匹配 |
激发方式 | 电感耦合 |
气体控制 | 双浮子流量计 |
时间设定 | 9999 秒 |
真空泵 | 抽速 4m³/h |
气体稳定时间 | 1 分钟 |
真空度 | 100pa 以内 |
电源 | AC220V 50/60Hz 666/316W |
产品尺寸 | L425xW420xH465mm |
包装尺寸 | L560xW545xH730mm |
整机重量 | 32kg |
1年
否
有
有
根据客户需求
保期内免费更换零件
24小时内响应
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