结构紧凑、高刚性。
零间隙,高精度柔性铰链导向系统。
常温和超低温均能使用,超高真空兼容。
压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
压电升降台采用压电陶瓷驱动器直接驱动,内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,采用有限元分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度、且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,主要应用于纳米定位、生物显微、测试应用、半导体技术、光学、微加工等领域。
OMTOOLS提供的OMZH系列压电升降台台,通过压电陶瓷驱动,具有极佳的运动控制精度、定位精度、分辨率和稳定性,都可以达到纳米量级、定位稳定时间仅为毫秒量级、使用过程中不产生磁场同时也不收磁场的影响,并且适用于常规环境以及真空环境。
1年
是
有
根据公司产品情况而定
根据公司产品情况而定
免费维修更换零件
可到现场维修
相关产品