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EcoFlex™渗透系统用于制备痕量浓度气体混合物。混合物是通过将Trace Source™渗透(或扩散)管发出的微小蒸汽流与更大的惰性基体气体流(通常为氮气或零空气)混合而产生的。混合物只接触适当的惰性材料,如特氟龙®、镀特氟龙不锈钢或玻璃。EcoFlex™手动系统是基于与微处理器控制的FlexStream™基础模块相同的便于运输的平台而设计。EcoFlex™是一个简单、独立的、不可扩展的单炉渗透系统。
EcoFlex™气体标准动态制备系统可提供:
ü 操作模式:仅限于跨度模式
ü 气体流路适用于反应性气体混合物 - 仅接触玻璃、特氟龙®和不锈钢(其他材料也可使用)
ü适用于一次性渗透管、扩散管、晶圆管和预装气体渗透管
ü 每个渗透管炉可接受多达8个一次性管,最大长度6英寸,直径1/4英寸(KIN-TEK HRT、SRT和EL管)
ü 每个渗透管炉可适用一个KIN-TEK可再填充LFH管和57系列管
ü 电子PID控制
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后3天内
2小时内
是
2天内
是
5天
10年
是
是
是
是
是
是
先维修后付款
技术参数
不支持
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