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高压线多重防护；外壳良好接地；真空互锁；系统 自动防护性切断溅射；实体按键，较安全
安全至上
高压线多重防护；外壳良好接地；真空互锁；系统
自动防护性切断溅射；实体按键，绝对安全
注重用户体验
5英寸液晶屏，简洁明了;
可多设置两个参数，即可开始工作；
系统自动调整真空度，无需人工调节针阀;
自动放气；样品台高度可调节
信息量大
溅射过程中真空度和溅射电流以曲线方式实时显示，简单直观；
靶材使用时间，仪器使用时间系统自动记录，直观了解设备的运行状态
快速上手
设备内置操作向导，在操作人员更换时，无需培训，即可快速熟练操作设备
主要参数
输入电压：AC220V±10%，50Hz
工作电压：DC2400V
大功率：（主机与机械泵） 500W
可选靶材：金、铂、银、铜、铝、铅等常用金属
真空泵：两级直联旋片式真空泵 1L/s
真空腔：φ128×130mm
样品杯：φ90×1 / φ25×4 / φ15×6
整机尺寸：（长×宽×高） 424×271×255（mm）
重量（主机）： 11 kg
工作环境：温度 5～40℃，湿度<60%
存储环境：温度-10~60℃，湿度<80%
工作气体：Air / Ar
保护功能：过流、真空双保护
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后7天内
2小时内
是
1天内
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