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产品介绍：
QRGAOIS系列残余气体分析是奕瑞科技最新开发的一款广泛应用于真空系统的气体监测仪器，具有快速数据采集功能、高灵敏度、良好最小可检则分压、良好的系统稳定性与可靠性，能够快速确定真空腔体内所有气体分压的数据，帮助主机系统准确判断气体泄沥情况，有效监控过程气体，识别污朵气体等。良好的产品性能使得QRGAOIS残余气体分析在半导体工业、真空锁膜(PVD、CVD)、刻蚀、粒子加速器等领域具有广泛的应用前景。
产品特点：
1.体积小，灵敏度高，质量分辨率高，可以满足制程工艺需求
2.离子源类型可选，不同工艺运行寿命最大化
3.全系列产品，可与机台通讯
4.模块化设计操作维护简单
产品应用：
真空泄漏检测
真空镀膜残余气体分析
半导体制程工艺监测
高能物理、电池泄漏检测
航空航天
医药冻干水分分析
产品参数：
产品型号/Model | QR GAO IS F | QR GAO IS M |
质量范围/Mass range | 100amu， 200amu， 300amu | |
传感器长度/Sensor length | 153mm | |
探测器/Detector type | FC | FC&MCP |
灯丝类型/Filament type | Wor Ir_Y2O 3 | |
最大工作压力/Max.operating pressure | 1.0E-4Torr | |
分辨率/Resolution | ||
灵敏度/Sensitivity | 2.0E-4A/Torr | 4.0E-1A/Torr |
最小可检分压/Min.detectable part al pressure | 1.5E-11Torr | 6.0E-14Torr |
质量稳定性/mass stability | Better than±0.1amu(at40amu， 8h) | |
零爆干扰/Zero blast interference | <5ppm | |
最大传感器工作温度/Max.sensor operating temperature | 150℃ | |
输入电源/Input power | AC100-240V50/60Hz | |
通讯方式/Mode of communication | Network port | |
数据采集方式/Data acquisition methods | 曲线扫描；多离子扫描；直方图/Curve scanning； Multi ion scanning； histogram | |
最大采集速率/Maximum data acquisition speed | ≤8msper point for analogy scan | |
电子能量/Electron energy | 10-110eV可调(默认70eV) /10-110eV adjustable(default 70eV) | |
发射电流/Emission current | 0-2mA可调(默认2mA) /0-2mA adjustable(default 2mA) | |
灯丝保护/Filament protection | 具有开路、过流(4.2A) 保护/Open circu i， overcurrent(4.2A) protection | |
软件/Software | RGA分析软件/RGA Analyzer | |
重量/Weight | 2.8kg | |
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