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产品介绍：
ORGA CIS系列残余气体分析是奕瑞科技最新开发的一款广泛应用于真空系统的气体监测仪器，具有快速数据采集功能、高灵敏度、良好最小可检测分压、良好的系统稳定性与可靠性，能够快速确定真空腔体内所有气体分压的数据，帮助主机系统准确判断气体泄漏情况，有效监控过程气体，识别污染气体等。良好的产品性能使得ORGACIS残余气体分析在半导体工业、真空诊断、真空镀膜(ALD、PVD、CVD)、刻蚀等领域具有广泛的应用前景。
产品特点：
尺寸紧凑，灵敏度高，质量分辨率高，可满足制程工艺需求
具有多个压力入口，满足复杂工艺要求
全系列产品，可与机台通讯
模块化设计，操作维护简单
产品优势：
真空泄漏检测
真空镀膜腔体残余气体分析
ALD/PVD/CVD和Etch等
高能物理、电池泄漏检测
航空航天
产品参数：
产品型号/Model | QRG ACIS F | QRG A CISM |
质量范围/Mass range | 100amu， 200amu， 300amu | |
传感器长度/Sensor length | 151mm | |
探测器/Detector type | FC | FC&MCP |
灯丝类型/Filament type | Wor Ir_Y2O： | |
总压范围/Total pressure range | 5E-7tolE-3Tomr | |
离子源最大工作压力/Maximum ion source operating pressure | lE-3Torr | |
系统最大工作压力/System operating pressure | 1E-8Torr to 1.2 atmospheres(with orifices/cap ilary) | |
分辨率/Resolution | ||
灵敏度/Sensitivity | 4.0E-6A/Torr | 8.0E-3A/Torr(MCP) |
最小可检分压/Min.detectable partial pressure | 2.0E-10Torr | 1.0E-12Torr |
质量稳定性/mass stab ity | Better than t 0.1amu(@40am， 8h) | |
最大传感器工作温度/Max.sensor operating temperature | 150℃ | |
输入电源/Input power | AC220V±10%50Hz | |
通讯方式/Mode of communication | Network port | |
电子能量/Electron energy | 10-110eV可调(默认40eV) /10-110eV adjustable(default 40eV) | |
发射电流/Emission current | 0.1-2mA可调(默认0.2mA) /0.1-2mA adjustable(default 0.2mA) | |
灯丝保护/Flament protection | 具有开路、过流(4.2A) 保护，总压保护/Open circut， overcurrent(4.2A) protection， total pressure protection | |
软件/Software | RGA分析软件/RGA Analyzer | |
重量/Weight | 20kg | |
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1年
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