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项目 描述
SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率 x5 ~ x300,000
加速电压 0.3 ~ 30 kV
低真空范围 6 ~ 270 Pa
最大样品尺寸 直径200mm
样品台 I型 II型
X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R 360o 360o
T -20o~ +90o -20o ~ +90o
T -20o~ +90o -20o ~ +90o
最大样品高度 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驱动类型 手动 五轴马达驱动
灯丝 预对中钨灯丝
物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏
枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏
检测器 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置 WD=10mm, TOA=35o
控制 鼠标、键盘，手动旋钮
自动调校 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦 消像散、自动亮度对比度
详细说明
1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、
自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效
30天
1年
安装调试现场免费培训
到货后14天内
12小时内
是
7天内
是
30天
3月
否
否
否
否
是
是
先付款后维修
维修手册
不支持
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